材料評価のための分析電子顕微鏡法
21世紀の新しい科学技術を支える先端材料を開発する上で、その構造を理解することは、基礎的に最も重要である。
多層膜や傾斜機能材料において、その特性を理解するためには、ナノエリアでの構造と組成を正確に知ることが必須である。この微小領域における構造と組成の解析手段として、高い分解能（～0.1nm）特性と1nm以下の微小領域での分析機能を合わせもつ分析電子顕微鏡に、最近大きな期待が寄せられている。
このような状況を踏まえて、最近の分析電子顕微鏡のハードとソフトさらに各種の分析技法について詳述した本書の出版を企画した次第である。『材料評価のための高分解能電子顕微鏡法』との併読をお勧めする。
多層膜や傾斜機能材料において、その特性を理解するためには、ナノエリアでの構造と組成を正確に知ることが必須である。この微小領域における構造と組成の解析手段として、高い分解能（～0.1nm）特性と1nm以下の微小領域での分析機能を合わせもつ分析電子顕微鏡に、最近大きな期待が寄せられている。
このような状況を踏まえて、最近の分析電子顕微鏡のハードとソフトさらに各種の分析技法について詳述した本書の出版を企画した次第である。『材料評価のための高分解能電子顕微鏡法』との併読をお勧めする。
1章 分析電子顕微鏡法の基礎
1.1 電子の散乱
1.2 電子の非弾性散乱と分析電子顕微鏡法
1.3 コンピュータによる機器制御と分析データ処理
2章 分析電子顕微鏡の構成と基本操作
2.1 分析電子顕微鏡の基本構造
2.2 電子顕微鏡の基本操作
3章 電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）
3.1 電子の非弾性散乱とEELS
3.2 EELSのスペクトロメータ
3.3 EELSの分析技法
3.4 EELSの理論的基礎
3.5 エネルギー損失スペクトルの解析
3.6 エネルギーフィルター法の原理と応用
4章 エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）
4.1 特性X線の発生
4.2 X線検出器の種類と原理
4.3 EDSの分析技法
4.4 定量分析
4.5 定量分析における留意点
4.6 ALCHEMI
5章 分析電子顕微鏡法の周辺技法
5.1 電子回折法
5.2 ローレンツ顕微鏡法
5.3 電子線ホログラフィー
5.4 走査電子顕微鏡法
5.5 資料作製法
1.1 電子の散乱
1.2 電子の非弾性散乱と分析電子顕微鏡法
1.3 コンピュータによる機器制御と分析データ処理
2章 分析電子顕微鏡の構成と基本操作
2.1 分析電子顕微鏡の基本構造
2.2 電子顕微鏡の基本操作
3章 電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）
3.1 電子の非弾性散乱とEELS
3.2 EELSのスペクトロメータ
3.3 EELSの分析技法
3.4 EELSの理論的基礎
3.5 エネルギー損失スペクトルの解析
3.6 エネルギーフィルター法の原理と応用
4章 エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＳ）
4.1 特性X線の発生
4.2 X線検出器の種類と原理
4.3 EDSの分析技法
4.4 定量分析
4.5 定量分析における留意点
4.6 ALCHEMI
5章 分析電子顕微鏡法の周辺技法
5.1 電子回折法
5.2 ローレンツ顕微鏡法
5.3 電子線ホログラフィー
5.4 走査電子顕微鏡法
5.5 資料作製法
